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厦门小型扫描电镜哪个厂家比较好

更新时间:2025-09-01      点击次数:27

场发射扫描电镜:场发射式电子长筒械具则比钨灯丝和六硼化镧灯丝的亮度又分别高出10-100倍,放大倍率由25倍到650000倍,同时电子能量散布但为0.2-0.3eV,在使用加速电压15kV时,分辨率可达到1nm,加速电压1kV时,分辨率可达到2.2nm,所以目前市售的高分辨率扫描电镜都采用场发射式电子长筒械具,一般钨丝型的扫描电镜仪器上的放大倍率可到200000倍,实际操作时,大部份均在20000倍时影像便不清楚了,但如果样品的表面形貌及导电度合适,较大倍率650000倍是可以达成的。扫描电镜是用途较为普遍的一种仪器。厦门小型扫描电镜哪个厂家比较好

冷场发射式:冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场,使电子从钨线圈中下来,要求具有超高真空度,但使用寿命较长,且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小,亮度较高,因此影像分辨率较优。能量散布较小,故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,因此使得发射电流不稳定,发射体使用寿命短,冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高,冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing,定时对针尖进行清洗),以去除所吸附的气体原子,此外,他的发射的总电流较小,但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子,金属表面必需完全干净,无任何外来材料的原子或分子在其表面,即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射,所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度,来防止钨阴极表面累积原子。厦门小型扫描电镜哪个厂家比较好扫描电镜待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜。

扫描电镜基本原理:扫描电镜电子长筒械具发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源;点光源在加速电压下形成高能电子束;高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点,在透过较后一级带有扫描线圈的电磁透镜后,电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面,同时激发出不同深度的电子信号。此时,电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收,通过放大器同步传送到电脑显示屏,形成实时成像记录(图a)。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有:俄歇电子(AuE)、二次电子(SE)、背散射电子(BSE)、X射线(特征X射线、连续X射线)、阴极荧光(CL)、吸收电子(AE)和透射电子(图b)。每种电子信号的用途因作用深度而异。

热场发射式(thermalfieldemission,TF):热场发式电子长筒械具是在1800K温度下操作,避免了大部份的气体分子吸附在针尖表面,所以免除了针尖flashing的需要。热式能维持较佳的发射电流稳定度,并能在较差的真空度下(10-9torr)操作,虽然亮度与冷式相类似,但其电子能量散布却比冷式大3~5倍。热场发射扫描电镜不但连续工作时间长,还能与多种附件搭配实现综合分析,但其影像分辨率较差。肖特基发射式(Schottkyemission,SE):虽然很多厂商都称其为场发射,但其实它并不是一个场发射源,因为它的头部是较钝的,而且如果停止加热,就不会有发射电流,更确切的说肖特基是“场辅助热电子源”。扫描电镜仪器放大倍数变化范围大。

扫描电镜基本原理:由电子长筒械具发射的电子束较高可达30keV,经会聚透镜、物镜缩小和聚焦,在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下,入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用,将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用,可将各个方向发射的二级电子汇集起来,再将加速极加速射到闪烁体上,转变成光信号,经过光导管到达光电倍增管,使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极,调制显像管的亮度。因而,再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。扫描电镜普遍应用于油气地质领域的研究。厦门小型扫描电镜哪个厂家比较好

扫描电镜可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口。厦门小型扫描电镜哪个厂家比较好

场发射扫描电镜的条件要求:场发射扫描电镜对真空的要求较高,有些仪器在电子长筒械具及磁透镜部份配备了3组离子泵(ionpump),在样品室中,配置了2组扩散泵(diffusionpump),在机体外,以1组机械泵负责粗抽,所以有6组大小不同的真空泵来达成超高真空的要求,另外在样品另有以液态氮冷却的冷阱(coldtrap),协助保持样品室的真空度。场发射的操作注意事项:场发射式电子长筒械具的电子产生率与真空度有密切的关系,其使用寿命也随真空度变差而急剧缩短,因此在样品制备上必须非常注意水气,或固定用的碳胶或银胶是否烤干,以免在观察的过程中,真空陡然变差而影响灯丝寿命,甚至系统当机。厦门小型扫描电镜哪个厂家比较好

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